1月12日消息,尽管日本在EUV光刻机领域落后于ASML公司,不过在EUV技术方面依旧占据着较强的地位,像EUV光刻胶、EUV光罩这类核心材料就体现了这一点。
三星当前的EUV光罩同样几乎完全依赖从日本进口,主要采购自Hoya豪雅和AGC(原旭硝子)这两家企业,而这些历史悠久的光学与玻璃制品公司,同样是全球范围内EUV光罩领域的关键供应商。
不过在2019年,日本对韩国实施了三大半导体核心材料的出口管制措施,这一举措促使韩国企业加大力度推进半导体技术的自主研发以替代进口产品,如今韩国在EUV光罩领域也实现了技术突破。
过去几年里,三星始终与韩国的S&S科技在EUV光罩领域展开合作。近期有消息透露,相关合作已取得突破性进展,双方的验证工作正处于最后阶段,预计从第二季度起开始供货。
考虑到EUV光刻机及其工艺的复杂性与高昂成本,三星也无法立刻全面采用国产EUV光罩进行替换,而是会先以少量替代的方式推进,随后再逐步扩大应用范围。
不出意外的话,SK海力士同样会扩大对韩国国产EUV光罩等产品的采纳与应用。
这么多年过去,韩国在EUV材料领域对日本产品的替代进程其实难言完美。早在6年前就提出要替代日本的EUV光刻胶,但目前日本企业在该领域依旧占据第一位置,韩国能生产EUV光刻胶的公司也寥寥无几。
这不仅是因为EUV相关技术的研发难度极高,还与不少EUV材料的市场规模实际远不及大众预期有关。以EUV光罩为例,其年市场规模仅约3亿美元,三星在其中的占比最多不过三分之一,对应用量仅1亿美元左右,而投入的研发经费甚至可能超过这一数值。
当然,上述问题若放在国内市场来看情况就不同了——国内对于EUV及DUV相关的材料与设备的需求,远超过韩国市场,不仅替代空间要大得多,推动替代的动力也更为紧迫。